निक्षेपण
अन्तर्दृष्टि प्राप्त गर्नुहोस् र विकास प्रक्रियालाई गति दिनुहोस्।
उन्नत ऊर्जाले महत्वपूर्ण पातलो फिल्म निक्षेपण अनुप्रयोगहरू र उपकरण ज्यामितिहरूको लागि पावर आपूर्ति र नियन्त्रण समाधानहरू प्रदान गर्दछ। वेफर प्रशोधन चुनौतीहरू समाधान गर्न, हाम्रो परिशुद्धता पावर रूपान्तरण समाधानहरूले तपाईंलाई पावर शुद्धता, परिशुद्धता, गति, र प्रक्रिया दोहोरिने क्षमता अनुकूलन गर्न अनुमति दिन्छ।
हामी RF फ्रिक्वेन्सीहरू, DC पावर प्रणालीहरू, अनुकूलित पावर आउटपुट स्तरहरू, मिल्दो प्रविधिहरू, र फाइबर अप्टिक तापमान अनुगमन समाधानहरूको विस्तृत दायरा प्रदान गर्दछौं जसले तपाईंलाई प्रक्रिया प्लाज्मालाई राम्रोसँग नियन्त्रण गर्न सक्षम बनाउँछ। हामी प्रक्रिया अन्तर्दृष्टि प्रदान गर्न र विकास प्रक्रियालाई गति दिन फास्ट DAQ™ र हाम्रो डेटा अधिग्रहण र पहुँच सुइटलाई पनि एकीकृत गर्छौं।
तपाईंको आवश्यकता अनुसारको समाधान खोज्नको लागि हाम्रो अर्धचालक उत्पादन प्रक्रियाहरूको बारेमा थप जान्नुहोस्।
तपाईंको चुनौती
एकीकृत सर्किट आयामहरूको ढाँचा बनाउन प्रयोग गरिने फिल्महरूदेखि लिएर प्रवाहकीय र इन्सुलेशन फिल्महरू (विद्युतीय संरचनाहरू), धातु फिल्महरू (अन्तरसम्बन्ध) सम्म, तपाईंको निक्षेपण प्रक्रियाहरूलाई परमाणु-स्तर नियन्त्रण आवश्यक पर्दछ - प्रत्येक सुविधाको लागि मात्र होइन तर सम्पूर्ण वेफरमा।
संरचनाभन्दा बाहिर, तपाईंको जम्मा गरिएको फिल्महरू उच्च गुणस्तरको हुनुपर्छ। तिनीहरूमा इच्छित अन्न संरचना, एकरूपता, र कन्फर्मल मोटाई हुनुपर्छ, र शून्यता-मुक्त हुनुपर्छ - र यो आवश्यक मेकानिकल तनाव (कम्प्रेसिभ र टेन्सिल) र विद्युतीय गुणहरू प्रदान गर्नुको अतिरिक्त हो।
जटिलता बढ्दै गइरहेको छ। लिथोग्राफी सीमितताहरू (सब-१X एनएम नोडहरू) लाई सम्बोधन गर्न, स्व-पङ्क्तिबद्ध डबल र क्वाड्रपल ढाँचा बनाउने प्रविधिहरूलाई प्रत्येक वेफरमा ढाँचा उत्पादन र पुनरुत्पादन गर्न तपाईंको निक्षेप प्रक्रिया आवश्यक पर्दछ।
हाम्रो समाधान
जब तपाईं सबैभन्दा महत्वपूर्ण निक्षेप अनुप्रयोगहरू र उपकरण ज्यामितिहरू प्रयोग गर्नुहुन्छ, तपाईंलाई एक भरपर्दो बजार नेता चाहिन्छ।
एडभान्स्ड इनर्जीको आरएफ पावर डेलिभरी र उच्च-गति मिल्दो प्रविधिले तपाईंलाई सबै उन्नत PECVD र PEALD निक्षेप प्रक्रियाहरूको लागि आवश्यक पावर शुद्धता, परिशुद्धता, गति, र प्रक्रिया दोहोरिने क्षमता अनुकूलित र अनुकूलन गर्न सक्षम बनाउँछ।
तपाईंको कन्फिगर योग्य आर्क प्रतिक्रिया, पावर शुद्धता, गति, र प्रक्रिया दोहोरिने क्षमता आवश्यक PVD (स्पटरिङ) र ECD निक्षेपण प्रक्रियाहरूलाई फाइन-ट्यून गर्न हाम्रो DC जेनेरेटर प्रविधि प्रयोग गर्नुहोस्।
फाइदाहरू
● बढेको प्लाज्मा स्थिरता र प्रक्रिया दोहोरिने क्षमताले उपज बढाउँछ
● पूर्ण डिजिटल नियन्त्रणको साथ सटीक आरएफ र डीसी डेलिभरीले प्रक्रिया दक्षतालाई अनुकूलन गर्न मद्दत गर्दछ।
● प्लाज्मा परिवर्तन र चाप व्यवस्थापनमा द्रुत प्रतिक्रिया
● अनुकूली आवृत्ति ट्युनिङको साथ बहु-स्तरीय पल्सिङले इच दर चयनशीलतामा सुधार गर्छ।
● अधिकतम अपटाइम र उत्पादन प्रदर्शन सुनिश्चित गर्न विश्वव्यापी समर्थन उपलब्ध छ