बयान
अन्तर्दृष्टि प्राप्त गर्नुहोस् र विकास प्रक्रियालाई गति दिनुहोस्।
उन्नत ऊर्जाले महत्वपूर्ण पातलो फिल्म डिपोजिसन अनुप्रयोगहरू र उपकरण ज्यामितिहरूको लागि पावर आपूर्ति र नियन्त्रण समाधानहरू प्रदान गर्दछ।वेफर प्रशोधन चुनौतीहरू समाधान गर्न, हाम्रो सटीक पावर रूपान्तरण समाधानहरूले तपाईंलाई शक्ति शुद्धता, सटीकता, गति, र प्रक्रिया दोहोर्याउने क्षमता अनुकूलन गर्न अनुमति दिन्छ।
हामी RF फ्रिक्वेन्सीहरू, DC पावर प्रणालीहरू, अनुकूलित पावर आउटपुट स्तरहरू, मिल्दो टेक्नोलोजीहरू, र फाइबर अप्टिक तापमान निगरानी समाधानहरूको विस्तृत दायरा प्रस्ताव गर्दछौं जसले तपाईंलाई प्रक्रिया प्लाज्मालाई राम्रोसँग नियन्त्रण गर्न सक्षम बनाउँछ।हामी प्रक्रिया अन्तर्दृष्टि प्रदान गर्न र विकास प्रक्रियालाई गति दिनको लागि द्रुत DAQ™ र हाम्रो डाटा अधिग्रहण र पहुँच सुइटलाई पनि एकीकृत गर्छौं।
हाम्रो सेमीकन्डक्टर निर्माण प्रक्रियाहरू बारे थप जान्नुहोस् तपाईंको आवश्यकताहरू मिल्ने समाधान फेला पार्न।
तपाईंको चुनौती
ढाँचामा एकीकृत सर्किट आयामहरू कन्डक्टिभ र इन्सुलेटिभ फिल्महरू (विद्युत संरचनाहरू), मेटल फिल्महरू (इन्टरकनेक्सन) सम्म, तपाइँको डिपोजिसन प्रक्रियाहरूलाई परमाणु-स्तर नियन्त्रण आवश्यक हुन्छ — प्रत्येक सुविधाको लागि मात्र होइन सम्पूर्ण वेफरमा।
ढाँचाभन्दा बाहिर, तपाईंको जम्मा गरिएका चलचित्रहरू उच्च गुणस्तरको हुनुपर्छ।तिनीहरूले वांछित अन्न संरचना, एकरूपता, र कन्फर्मल मोटाई, र शून्य-मुक्त हुन आवश्यक छ - र यो आवश्यक मेकानिकल तनाव (कम्प्रेसिभ र तन्य) र विद्युतीय गुणहरू प्रदान गर्नुको अतिरिक्त हो।
जटिलता अझै बढ्दै गएको छ ।लिथोग्राफी सीमितताहरू (सब-१एक्स एनएम नोडहरू) लाई सम्बोधन गर्न, स्व-पङ्क्तिबद्ध डबल र क्वाड्रपल ढाँचा प्रविधिहरू प्रत्येक वेफरमा ढाँचा उत्पादन र पुन: उत्पादन गर्न तपाईंको निक्षेप प्रक्रिया आवश्यक पर्दछ।
हाम्रो समाधान
जब तपाइँ सबैभन्दा महत्वपूर्ण डिपोजिसन अनुप्रयोगहरू र उपकरण ज्यामितिहरू प्रयोग गर्नुहुन्छ, तपाइँलाई एक भरपर्दो बजार नेता चाहिन्छ।
उन्नत ऊर्जाको RF पावर डेलिभरी र उच्च-गति मिल्दो प्रविधिले तपाईंलाई सबै उन्नत PECVD र PEALD डिपोजिसन प्रक्रियाहरूको लागि आवश्यक शक्ति शुद्धता, सटीकता, गति, र प्रक्रिया दोहोर्याउने योग्यता अनुकूलन र अनुकूलन गर्न सक्षम गर्दछ।
तपाइँको कन्फिगर योग्य चाप प्रतिक्रिया, पावर सटीकता, गति, र प्रक्रिया पुनरावृत्ति आवश्यक PVD (स्पुटरिंग) र ECD डिपोजिसन प्रक्रियाहरू ठीक-ट्युन गर्न हाम्रो DC जेनेरेटर प्रविधि प्रयोग गर्नुहोस्।
फाइदाहरू
● परिष्कृत प्लाज्मा स्थिरता र प्रक्रिया दोहोर्याउने क्षमताले उपज बढाउँछ
● पूर्ण डिजिटल नियन्त्रणको साथ सटीक RF र DC डेलिभरीले प्रक्रियाको दक्षतालाई अनुकूलन गर्न मद्दत गर्छ
● प्लाज्मा परिवर्तन र चाप व्यवस्थापनमा द्रुत प्रतिक्रिया
● अनुकूली फ्रिक्वेन्सी ट्युनिङको साथ बहु-स्तरीय पल्सिङले नक्काशी दर चयनशीलता सुधार गर्दछ
● अधिकतम अपटाइम र उत्पादन प्रदर्शन सुनिश्चित गर्न विश्वव्यापी समर्थन उपलब्ध छ